光刻毕业论文

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摘要光刻工艺是利用光刻胶的感光性和耐蚀性,在SIO2或金属膜上复印并刻蚀出与掩模版完全对应的几何图形.由于光刻工艺是一种非常精细的表面加工技术,在平面器件和集成电路生产中得

咨询记录 · 回答于2024-06-02 18:26:00

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光刻工艺是利用光刻胶的感光性和耐蚀性,在SIO2或金属膜上复印并刻蚀出与掩模版完全对应的几何图形.由于光刻工艺是一种非常精细的表面加工技术,在平面器件和集成电路生产中得

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